FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡介：FS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點：
  - 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
  - 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,傳感器計量
  - 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比提高
  - 傳感器的零點穩(wěn)定度高
  - 全量程高穩(wěn)定性
  - 全量程和優(yōu)良的重復(fù)性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應(yīng)時間快
主要參數(shù)：
性能參數(shù) FS4001 單位
通 徑 1.0 1.8 mm
 大流量 30, 100, 200 500, 1000 SCCM
量程比 ≥100:1
精 度 ±(1.5+0.2FS) %
重復(fù)性 0.25 %讀數(shù)
零點輸出飄移 ±30 mV
輸出飄移 ±0.12 %/oC
響應(yīng)時間 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 mses
工作電源 8~18Vdc,50mA
輸出方式 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
 大流量壓損 350 300 pa
 大工作壓力 0.5 MPa
工作溫度 -10 ~ +55 oC
存儲溫度 -20 ~ +65 oC
工作濕度 <95%RH（無結(jié)冰、無凝露）
機械接口 可拆式軟管接頭
校準方式 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量 15 g
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